非接触検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007927
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206484
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】一対のスティミュレータから印加される電磁波を受けて導体回路基板に生起される電気的変化を検出するセンサの検出感度を高め、且つその検出特性の向上を図る。【解決手段】センサを構成する微小な導電パターンの、スルーホールによって開口された部位を導電性部材にて塞ぎ、そのセンサ面を平坦化してセンサ近傍における電界パターンを均一化すると共に、センサの実効的な面積を広げて検出感度を高める。

請求項（抜粋）：

導体回路基板に対して電気的に非接触で、且つ所定の空間的距離を隔てて位置付けられ、前記導体回路基板に所定の電磁波を印加する一対のスティミュレータと、これらの一対のスティミュレータ間に設けられて上記電磁波を受けて前記導体回路基板に生起される電気的変化を検出するセンサとを具備した非接触検査装置であって、前記スティミュレータおよびセンサは、絶縁性回路基板の一面に形成され、該絶縁性回路基板に設けられたスルーホールを介して電極配線された導電パターンからなり、前記センサは、その導電パターンのスルーホールにより開口された部位に、導電性部材を埋め込み形成して平坦なセンサ面としてなることを特徴とする非接触検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/02 , H05K 3/00

FI (2件)：

G01R 31/02 , H05K 3/00 T

引用特許：

審査官引用 (7件)

導体回路基板の検査方法およびその検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-010338 出願人：オカノ電機株式会社, エンテックリミテッド
特開平3-155202
特開平4-152697

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