特許
J-GLOBAL ID：200903005222844140
電界放出型電子源装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-059405
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255557
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 電子放出部に破壊が生じることがないように、冷陰極とゲート電極との間のリーク電流を低減し、又は動作電圧が破壊に至らないように冷陰極からの放出電流を低減し、歩留まり低下や信頼性低下を引さ起こすことがない電界放出型電子源装置及びその製造方法を提供する。【構成】 電解型電子源放出装置の個々の電子源は、電子を放出するための冷陰極10と絶縁層12と抵抗層13と第1のゲート電極部14aと第2のゲート電極部14bとを含む。抵抗層13は、ゲート電極部14a、14bに直列に接続されている。冷陰極とゲート雷極との間にリーク電流が流れ易くなっても、個々の電子源のゲート電極に抵抗を直列に接続した構造のために、リーク電流が制限されるので、電子放出部に破壊が生じ難くすることができる。
請求項（抜粋）：
基板上の突出した部分からなる陰極と、前記陰極の突出した先端部分に近接して、前記陰極から電子を引き出すために設けられたゲート電極とを含む、高電界において電子を放出する電界放出型電子源装置であって、前記ゲート電極と直列に接続された抵抗をさらに含む電界放出型電子源装置。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 C
, H01J 9/02 B
, H01J 9/02 C
, H01J 31/12 B
