特許
J-GLOBAL ID:200903077620087090
マイクロチップ放射陰極電子源
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
浅村 皓 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-050007
公開番号(公開出願番号):特開平8-031347
出願日: 1995年03月09日
公開日(公表日): 1996年02月02日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】マイクロチップを備え、かつ電子放射の均一性が優れている、電子源を提供する。【構成】複数個のマイクロチップを備えた1つの系列の陰極導電体3と、1つの系列のグリッド13とを有する。前記系列の中の少なくとも1つの系列の電極のおのおのが、抵抗体層9と接触し、かつメッシュと呼ばれる開口部を有し、かつそれぞれのメッシュに面したマイクロチップの群を有する。導電体素子は、メッシュに対応するマイクロチップの群の前方でそれぞれのメッシュの内部に面し、かつ抵抗体層と接触する。
請求項(抜粋):
電気的絶縁体である支持体1の上に配置され、および陰極導電体としての役割を果たしかつ複数個の電子放射マイクロチップ(19)を担う、第1系列の平行な電極(3、22)と、グリッドとしての役割を果たし、かつ前記陰極導電体から電気的に絶縁され、かつ前記陰極導電体と前記グリッドとの交差領域を定めるように前記陰極導電体に対し一定の角度をなす、第2系列の平行な電極(13、28)と、を有し、前記系列の中の少なくとも1つの系列の電極のおのおのが抵抗体層(9、24)と接触しおよび格子構造を有しおよび交差するトラックを組み込みおよび交差する前記トラックがメッシュと呼ばれる開口部を定め、かつ1群のマイクロチップがそれぞれのメッシュに面し、かつそれぞれのメッシュの内側に面し、かつ交差する前記トラックから電気的に絶縁され、かつ前記メッシュに対応するマイクロチップの前記群に面しおよび前記抵抗体層と接触した、導電体素子(3a、30)を有することを特徴とする、電子源。
IPC (2件):
引用特許:
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