特許
J-GLOBAL ID：200903005236335426

炭素細長構造束状体、その製造方法および電子素子

発明者：
近藤 大雄

近藤 大雄 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (2件)： 土井 健二 ,  林 恒徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-325297
公開番号（公開出願番号）：特開2008-137846
出願日： 2006年12月01日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】カーボンナノチューブ(CNT)等の炭素細長構造体を高密度に配した良好な電気的接続構造および/または熱的接続構造体を提供する。【解決手段】炭素細長構造体は、化学気相成長法で得られ、真空度、原料組成、触媒組成、触媒層膜厚、触媒担持層組成、触媒担持層膜厚、成長温度、希釈ガス組成、ガス流量および希釈ガス濃度からなる条件の少なくとも一つを調整することにより、先端部分が炭素ネットワークにより互いに繋がる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一方の先端部分が炭素ネットワークにより互いに繋がっている炭素細長構造束状体。
IPC (7件)：
C01B 31/02 ,  H01L 21/60 ,  H01L 23/36 ,  H01B 1/04 ,  H05K 3/14 ,  B01J 23/75 ,  B01J 37/02
FI (8件)：
C01B31/02 101F ,  H01L21/60 321E ,  H01L23/36 C ,  H01B1/04 ,  H05K3/14 Z ,  B01J23/74 311M ,  B01J37/02 301P ,  C01B31/02 101Z
Fターム (32件)：
4G146AA11 ,  4G146AD20 ,  4G146AD22 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC23 ,  4G146BC27 ,  4G146BC32B ,  4G146BC38B ,  4G146BC42 ,  4G146BC44 ,  4G169AA03 ,  4G169AA08 ,  4G169BB02B ,  4G169BC67B ,  4G169CB81 ,  4G169DA05 ,  4G169FB01 ,  4G169FB03 ,  5E343BB58 ,  5E343BB68 ,  5E343DD80 ,  5E343GG13 ,  5E343GG20 ,  5F136BB02 ,  5F136DA16 ,  5F136EA62 ,  5F136FA25 ,  5G301BA01 ,  5G301BA03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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