特許
J-GLOBAL ID:200903005306900711
走査型レーザ顕微鏡、及びその制御方法、並びにプログラム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-349618
公開番号(公開出願番号):特開2005-115072
出願日: 2003年10月08日
公開日(公表日): 2005年04月28日
要約:
【課題】 走査型レーザ顕微鏡の構成を複雑にすることなく色収差の補正を行えるようにする。【解決手段】 対物レンズ系6は、レーザ光源1から発せられたレーザ光である照明光を焦点位置に集束させる。制御部11は、記憶部14に登録されている対物レンズ系6の色収差の程度を示している色収差情報に基づいてXYスキャナ4若しくはZスキャナ8を制御し、対物レンズ系6を通過した照明光を当該照明光の波長の変化に拘らず試料7内の同一の位置に集束させる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザ光である照明光を焦点位置に集束させる対物レンズ系と、
前記対物レンズ系の色収差の程度を示している色収差情報に基づいて、当該対物レンズ系を通過した前記照明光を当該照明光の波長の変化に拘らず試料内の同一の位置に集束させる制御を行う制御手段と、
を有することを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (2件):
FI (4件):
G02B21/00
, G02B26/10 B
, G02B26/10 C
, G02B26/10 104Z
Fターム (11件):
2H045AB13
, 2H045AB53
, 2H045BA13
, 2H045BA24
, 2H045DA31
, 2H052AA07
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD20
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (2件)
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位置検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-056324
出願人:株式会社ニコン
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レーザ走査顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-298933
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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