特許

J-GLOBAL ID：200903005341434472

熱式流速センサ

発明者： 大石 安治 ,  温井 一光 ,  酒井 克人 ,  加藤 秀男 ,  岡田 修一 ,  木村 幸雄
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社 ,  東京瓦斯株式会社 ,  大阪瓦斯株式会社 ,  東邦瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007951
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206204
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 電池の寿命を延すために流量測定の間隔を大きくすると、配管内に圧力変動が生じて流量の変動が大きい場合には、流量測定結果と実際の流量との差が大きくなり測定精度が落ちる課題があった。【解決手段】 センサ素子自身の発熱により一定の熱量が与えられたときの流体の流速に応じた温度分布の変化を検出する前記流体の上流側と下流側とに配置されたセンサ素子と、該センサ素子の出力をもとに前記流体の流速を検出する検出回路とを備える。

請求項（抜粋）：

センサ素子自身の発熱により一定の熱量が与えられたときの流体の流速に応じた温度分布の変化を検出する前記流体の上流側と下流側とに配置されたセンサ素子と、該センサ素子の出力をもとに前記流体の流速を検出する検出回路とを備えた熱式流速センサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 熱式流速センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-304366   出願人：東京瓦斯株式会社, 山武ハネウエル株式会社
• マスフローコントローラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-088228   出願人：横河電機株式会社
• 特開平4-296623
  
• 特開平2-213767