特許
J-GLOBAL ID：200903005359612491
研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田村 敬二郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142053
公開番号（公開出願番号）：特開平11-320349
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 定盤の平坦度管理を容易にしかつ研磨の生産性を向上させることができるとともに、被研磨材について安定に高精度の研磨を行うことのできる研磨方法を提供する。【解決手段】 この研磨方法は、定盤上で被研磨材の研磨を行う工程(S11,S13、S14)を複数有する研磨方法において、前工程(S11)で用いた定盤よりも硬質または同等な定盤を用いる中間研磨工程(S12)を付加した。
請求項（抜粋）：
定盤上で被研磨材の研磨を行う工程を複数有する研磨方法において、前工程で用いた定盤よりも硬質または同等な定盤を用いる中間研磨工程を付加したことを特徴とする研磨方法。
引用特許：
前のページに戻る
