特許
J-GLOBAL ID:200903005439164538
微粒子除去用洗浄剤組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-304162
公開番号(公開出願番号):特開2002-069492
出願日: 2000年08月30日
公開日(公表日): 2002年03月08日
要約:
【要約】【課題】 被洗浄物表面に付着している微粒子に対する洗浄性が良好な洗浄剤組成物を提供する。【解決手段】 a)有機系金属イオン封止剤:0.5〜15重量% b)ノニオン系界面活性剤又は/及びアニオン系界面活性剤:0.1〜20重量% c)水:残部からなる洗浄剤組成物を用いる。
請求項(抜粋):
a)有機系金属イオン封止剤:0.5〜15重量% b)ノニオン系界面活性剤又は/及びアニオン系界面活性剤:0.1〜20重量% c)水:残部からなる洗浄剤組成物。
IPC (5件):
C11D 3/30
, C11D 1/83
, C11D 17/08
, H01L 21/304 647
, H01L 21/304
FI (5件):
C11D 3/30
, C11D 1/83
, C11D 17/08
, H01L 21/304 647 A
, H01L 21/304 647 B
Fターム (19件):
4H003AB27
, 4H003AB31
, 4H003AC08
, 4H003AC11
, 4H003AC13
, 4H003BA12
, 4H003DA12
, 4H003DA14
, 4H003DA15
, 4H003DA16
, 4H003DB01
, 4H003EA10
, 4H003EA15
, 4H003EA21
, 4H003EB13
, 4H003EB15
, 4H003EB16
, 4H003ED02
, 4H003FA16
引用特許: