放電式オゾンガス生成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金丸章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-281731
公開番号（公開出願番号）：特開2004-083401
出願日： 2003年07月29日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】放電式オゾナイザーにおけるオゾン収量の増加と安定化を図る。【解決手段】放電式オゾナイザーにおける供給原料ガスとして、高純度酸素ガス中に、Ne,Kr,Xeの一種以上を3.0vol.%以下、又は、水素を2.0vol.%以下のいずれか一方又は双方を添加してなる混合ガスを用いるもの。Ne,Kr,Xeの好ましい添加量は、これらの1種以上で500ppm以上、更に好ましくは0.1〜0.5vol.%である。水素の好ましい添加量は、10ppm以上、更に好ましくは、50ppm〜1.0vol.%である。又、これにArやHeを0.5vol.%以下添加した混合ガスを用いるものや、生成オゾンガスをシリカゲルを充填したオゾン貯蔵容器に供給してオゾンをシリカゲルに吸着・貯蔵させるものもある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸素含有原料ガスを放電式オゾナイザーに供給してオゾンガスを生成させる放電式オゾンガス生成方法において、原料ガスとして、高純度酸素ガス中に、ネオン,クリプトン,キセノンの一種以上を合計で3.0vol.%以下、又は、水素を2.0vol.%以下のいずれか一方又は双方を添加してなる混合ガスを用いる事を特徴とする放電式オゾンガス生成方法

IPC (2件)：

C01B13/11 , H01L21/027

FI (2件)：

C01B13/11 L , H01L21/30 572

Fターム (8件)：

4B021MC01 , 4B021MK02 , 4B021MK13 , 4G042CA01 , 4G042CB01 , 4G042CB15 , 5F046MA05 , 5F046MA13

引用特許：

出願人引用 (4件)

特公平6-21010号公報(特許請求の範囲参照)
オゾン発生設備およびその運転方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-354650 出願人：富士電機株式会社
オゾンの供給方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-313361 出願人：日本酸素株式会社

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審査官引用 (10件)

オゾン発生設備およびその運転方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-354650 出願人：富士電機株式会社
電力貯蔵方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-044792 出願人：三菱電機株式会社, 東京電力株式会社
オゾン発生方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-039992 出願人：日本酸素株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

岩波理化学辞典第4版, 19891215, 第4版第4刷, 333頁
岩波理化学辞典第4版, 19891215, 第4版第4刷, 333頁

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