X線検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本昇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194707
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021506
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】被検査物をX線の光軸に対して傾斜させても、被検査物の任意の検査箇所を、X線発生器から所定の距離に位置したX線の光軸上の検査ポイントに位置させる試料の複数の検査箇所を同一条件で容易に観察でき、最適な透視画像を得る。【解決手段】 X線発生器2から照射されるX線を、該X線の光軸Hに対して傾斜可能な被検査物Sに照射し、前記X線の照射による前記被検査物Sの透視画像を、X線検出器10で検出するようにしたX線検査装置において、前記X線発生器2から所定の距離に位置した前記光軸H上の検査ポイントPに、前記光軸Hに対して傾斜する前記被検査物Sの任意の検査箇所Kを位置させるように、前記被検査物Sを移動させる移動手段4を設ける。

請求項（抜粋）：

X線発生器(2 )から照射されるX線を、該X線の光軸(H )に対して傾斜可能な被検査物(S )に照射し、前記X線の照射による前記被検査物(S )の透視画像を、X線検出器(10)で検出するようにしたX線検査装置において、前記X線発生器(2 )から所定の距離に位置した前記光軸(H )上の検査ポイント(P )に、前記光軸(H )に対して傾斜する前記被検査物(S )の任意の検査箇所(K )を位置させるように、前記被検査物(S )を移動させる移動手段(4 )を設けたことを特徴とするX線検査装置。

IPC (3件)：

G01N 23/04 , H05K 3/00 , H05K 3/34 512

FI (3件)：

G01N 23/04 , H05K 3/00 Q , H05K 3/34 512 B

Fターム (17件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001GA04 , 2G001GA05 , 2G001GA08 , 2G001GA13 , 2G001JA06 , 2G001JA07 , 2G001JA20 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001PA11 , 2G001PA12 , 2G001PA14 , 5E319CD53

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-307341
ラミノグラフ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-299197 出願人：株式会社東芝
半田付状態のX線検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-310471 出願人：松下電器産業株式会社

全件表示

前のページに戻る