特許
J-GLOBAL ID：200903005650178430

触媒担持基板およびそれを用いたカーボンナノチューブの成長方法ならびにカーボンナノチューブを用いたトランジスタ

発明者：
本郷 廣生

本郷 廣生 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-226020
公開番号（公開出願番号）：特開2004-067413
出願日： 2002年08月02日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】基板との密着性、パターニング特性に優れた単層カーボンナノチューブを高い収率で得る技術を提供する。【解決手段】ベーマイトを表面に有する触媒担体膜104上に、触媒担体膜104の一部を覆う触媒膜150を設け、この触媒膜150を起点として単層構造のカーボンナノチューブ105を気相成長させる。【選択図】 図17
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブの気相成長に用いられる触媒担持基板であって、 (a)カーボンナノチューブ気相成長触媒を含む第一の領域と、 (b)周期表2族〜14族から選択される一種以上の元素を含む金属またはその化合物(但し第一の領域においてカーボンナノチューブ気相成長触媒として選択した物質を除く)を含む第二の領域と、 が表出する主面を有することを特徴とする触媒担持基板。
IPC (3件)：
C01B31/02 ,  C23C14/14 ,  C23C16/06
FI (3件)：
C01B31/02 101F ,  C23C14/14 Z ,  C23C16/06
Fターム (42件)：
4G146AA11 ,  4G146AA12 ,  4G146AD21 ,  4G146BA01 ,  4G146BA48 ,  4G146BC08 ,  4G146BC09 ,  4G146DA03 ,  4G146DA48 ,  4K029AA24 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA06 ,  4K029BA07 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA13 ,  4K029BA15 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA18 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA05 ,  4K030BA06 ,  4K030BA07 ,  4K030BA10 ,  4K030BA12 ,  4K030BA14 ,  4K030BA16 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA20 ,  4K030BA21 ,  4K030BA22 ,  4K030CA12 ,  4K030LA11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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