特許
J-GLOBAL ID:200903005688888856

液中プラズマ発生方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松島 理
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-114083
公開番号(公開出願番号):特開2009-181960
出願日: 2009年05月11日
公開日(公表日): 2009年08月13日
要約:
【課題】この発明は、水やアルコール等の導電性の液体でも効率的にプラズマを発生させることができる液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法を提供することを目的とする。【解決手段】課題を解決するために、本発明に係る液中プラズマ発生方法は導電性の液体3中で気泡9を発生させるとともに、1GHz〜200GHzの高周波の電磁波を照射するマイクロ波集中装置10を使用し、マイクロ波集中装置10の先端が気泡9に接した状態でマイクロ波集中装置により集中的に気泡に対して電磁波を照射して気泡中にプラズマを発生させる液中プラズマ発生方法ものである。【選択図】図2
請求項(抜粋):
導電性の液体中で気泡を発生させるとともに、1GHz〜200GHzの高周波の電磁波を照射するマイクロ波集中装置を使用し、マイクロ波集中装置の先端が気泡に接した状態でマイクロ波集中装置により集中的に気泡に対して電磁波を照射して気泡中にプラズマを発生させる液中プラズマ発生方法。
IPC (1件):
H05H 1/24
FI (1件):
H05H1/24
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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