特許
J-GLOBAL ID：200903088033866976

プラズマ電気めっき

発明者：
チューピン・チェン

チューピン・チェン について


出願人/特許権者：
チャク・マン・トーマス・チャン

チャク・マン・トーマス・チャン について


代理人 (8件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-541139
公開番号（公開出願番号）：特表2004-512430
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
先進材料のフィルムを品物の表面に堆積させるための方法が開示されている。本方法は、間隔を隔てられた一対の電極を有する槽内に品物を配置する段階とからなる。電極の一つは、品物と堆積すべき材料のソースを含む電解液とによって形成されている。泡の流れは、カソードの付近の電極内で生成される。例えば電気分解、沸騰、キャビテーション、気水共発、散布など、泡の流れを生成するための技術は数多くある。本方法はまた、泡内にイオン化された気体分子のプラズマが形成されるように泡領域にグロー放電が形成されるように、カソードとアノードとの間に電位差を与えることを含む。次いでこのエネルギー状態の高くなった気体状のプラズマは、品物の表面で材料のフィルムを堆積させるよう作用する。本方法は、大気圧で実施してよく、真空装置を必要としない。電解液本体は、プラズマの封じ込めのソースとして作用する。泡の流れを横切る大きな電位差又は電圧降下は、堆積すべき分子を加圧してイオン化させるこの領域におけるグロー放電の形成を促進する。この方法を実施するための装置も開示されている。
請求項（抜粋）：
品物の表面に材料を堆積させる方法であって、 一つが前記品物を形成する、間隔を隔てられた一対の電極と電解液を収容する槽とを準備する段階と; 前記品物を形成している前記電極の周囲に泡領域が形成されるように、前記電解液内に堆積すべき材料のソースを含む泡の流れを生成する段階と; 前記泡領域にプラズマグロー放電が形成されかつ前記品物に前記材料がプラズマ堆積されるように、各前記電極間に電位差を与える段階と; からなることを特徴とする方法。
IPC (10件)：
C25D5/00 ,  C23C26/00 ,  C25D5/18 ,  C25D5/20 ,  C25D7/00 ,  C25D9/02 ,  C25D9/04 ,  C25D21/02 ,  C25D21/12 ,  H05H1/24
FI (11件)：
C25D5/00 101 ,  C23C26/00 D ,  C23C26/00 E ,  C25D5/18 ,  C25D5/20 ,  C25D7/00 Y ,  C25D9/02 ,  C25D9/04 ,  C25D21/02 ,  C25D21/12 D ,  H05H1/24
Fターム (28件)：
4K024AA01 ,  4K024AA14 ,  4K024BA01 ,  4K024BA11 ,  4K024BB09 ,  4K024BB27 ,  4K024BB28 ,  4K024CA07 ,  4K024CA12 ,  4K024CA16 ,  4K024CB20 ,  4K024CB26 ,  4K024GA16 ,  4K044AA01 ,  4K044AA11 ,  4K044BA01 ,  4K044BA11 ,  4K044BC02 ,  4K044BC11 ,  4K044BC12 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14 ,  4K044CA18 ,  4K044CA34 ,  4K044CA41 ,  4K044CA55 ,  4K044CA57
引用特許：
審査官引用 (3件)

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