特許
J-GLOBAL ID:200903005781404257
ナノインプリントシートの製造装置および製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 柳井 則子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-137726
公開番号(公開出願番号):特開2008-290330
出願日: 2007年05月24日
公開日(公表日): 2008年12月04日
要約:
【課題】ロールの外周面の凹凸パターンを高い精度で樹脂シートに転写でき、特に凹凸パターンのピッチがサブミクロン領域のナノインプリントシートを高い生産性で製造できるナノインプリントシートの製造装置を提供する。【解決手段】本発明のナノインプリントシートの製造装置1は、凹凸パターン10bが形成された外周面10aの一部に樹脂シートAが巻き付けられて密着するインプリントロール10と、樹脂シートAのインプリントロール10に密着し始める部分を加熱するための加熱機20と、インプリントロール10の外周面10aに密着した樹脂シートAを剥離させる剥離ロール40とを具備し、インプリントロール10の外周面10aに密着した樹脂シートAに、外側から冷風または冷水を吹き付ける冷却機30をさらに具備する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
凹凸パターンが形成された外周面の一部に樹脂シートが巻き付けられて密着するインプリントロールと、樹脂シートのインプリントロールに密着し始める部分を加熱するための加熱機と、インプリントロールの外周面に密着した樹脂シートを剥離させる剥離ロールとを具備して、凹凸パターンが表面に形成されたナノインプリントシートを製造するナノインプリントシートの製造装置であって、
インプリントロールの外周面に密着した樹脂シートに、外側から冷風または冷水を吹き付ける冷却機をさらに具備することを特徴とするナノインプリントシートの製造装置。
IPC (2件):
FI (2件):
B29C59/04 Z
, B29C59/00 J
Fターム (13件):
4F209AA28
, 4F209AD08
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH73
, 4F209PA03
, 4F209PA04
, 4F209PB02
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN06
, 4F209PQ01
, 4F209PQ02
引用特許:
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