特許
J-GLOBAL ID：200903005795969397
プローブカード用探針及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-042028
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338131
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 繰返し応力を高め、また、長期に安定した検査を行えるプローブカード用の探針を提供する。【解決手段】 本発明のプローブカード用の探針20は、多層構造からなり、中心に探針軸22を備え、その周囲に被覆層24が形成されている。探針軸22は、導電性金属から構成され、先端に被検査体に押し当てて電気的結線状態を測定する接触部22aが形成される。また、接触部22aは、一定の直径に形成され、研磨により再生した場合も一定の直径が維持される。一方、被覆層24は、接触部22aを除く探針軸22の外周面を被覆し、探針軸22の繰返し応力を補強し得る高ヤング率からなる材料から構成される。また、この被覆層24の先端側は、被検査体の狭ピッチ化に対応して先細形状に形成されている。
請求項（抜粋）：
先端側の接触部を被検査体に接触させて電気的結線状態を測定するための導電性金属からなる探針軸と、その外周に少なくとも1層からなる被覆層とを有する多層構造からなるプローブ用探針であって、前記被覆層が、1000°C〜1200°Cの温度における溶体化処理によって軟化し、400°C〜500°Cの温度における時効処理により硬化する第一の金属又は焼鈍により軟化し加工によって著しく硬化する第二の金属から構成され、前記第一の金属が、エルジロイ、ハステロイ、インコネル又はばね用SUSのいずれかであり、前記第二の金属が、レニウム-タングステン合金であることを特徴とするプローブカード用探針。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 J
, H01L 21/66 B
