セラミックヒーター及びこれを用いたウエハ加熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-050975
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244059
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し3倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。

請求項（抜粋）：

セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、前記発熱抵抗体の少なくとも一部に、周囲の抵抗値に対し3倍以内の抵抗値となるように調整した抵抗調整部を有することを特徴とするセラミックヒーター。

IPC (7件)：

H05B 3/20 393 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/324 , H01L 21/68 , H05B 3/12 , H05B 3/68

FI (7件)：

H05B 3/20 393 , H01L 21/205 , H01L 21/324 K , H01L 21/68 N , H05B 3/12 A , H05B 3/68 , H01L 21/302 B

Fターム (62件)：

3K034AA02 , 3K034AA21 , 3K034AA22 , 3K034AA34 , 3K034BB06 , 3K034BB14 , 3K034BC04 , 3K034BC12 , 3K034BC29 , 3K034CA02 , 3K034CA03 , 3K034CA15 , 3K034CA28 , 3K034DA04 , 3K034EA07 , 3K034EA15 , 3K034FA14 , 3K034FA17 , 3K034HA01 , 3K034HA10 , 3K034JA01 , 3K034JA02 , 3K092PP09 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB44 , 3K092QB45 , 3K092QB71 , 3K092QB76 , 3K092QC02 , 3K092QC05 , 3K092QC07 , 3K092QC08 , 3K092QC38 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092RF17 , 3K092RF22 , 3K092SS18 , 3K092SS24 , 3K092TT22 , 3K092UA05 , 3K092VV19 , 3K092VV22 , 3K092VV28 , 3K092VV34 , 5F004AA01 , 5F004BB18 , 5F004BB26 , 5F004BC08 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA18 , 5F031HA19 , 5F031HA37 , 5F031MA24 , 5F031MA28 , 5F031MA32 , 5F045EK08 , 5F045EK21 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (4件)

ホットプレートユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-080987 出願人：イビデン株式会社
定着用ヒートローラ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-351204 出願人：京セラ株式会社
温度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-121301 出願人：株式会社小松製作所

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