特許
J-GLOBAL ID:200903017445179863

温度制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-121301
公開番号(公開出願番号):特開平11-317284
出願日: 1998年04月30日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】 被温度制御対象物の温度制御をその全域に亘って可及的に均一に行うことのできる温度制御装置を提供することを解決課題とする。【解決手段】 本発明では、発熱抵抗線状体(100)の曲折部分にスリット状開口(40)を形成し、当該曲折部分の幅を減少させるようにしている。
請求項(抜粋):
基台の表面に発熱抵抗線状体を適宜曲折させながら単一層状に敷設し、該発熱抵抗線状体に加熱電力を供給することにより、前記基台の表面に搭載した被温度制御対象物の温度制御を行う温度制御装置において、前記発熱抵抗線状体の曲折部分に欠損部を形成し、当該曲折部分の幅を減少させることを特徴とする温度制御装置。
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • ウェハ保持装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-074081   出願人:京セラ株式会社
  • CCMのヒーターエレメント
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-210240   出願人:日本カーボン株式会社
  • 特開昭61-080785
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