特許
J-GLOBAL ID：200903005872919411
加速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298952
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119943
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 所定の一平面に含まれる方向を向いた加速度の大きさを電気信号として検出する。【解決手段】 固定基板10と変位基板20とが平行に設置される。固定基板10は円筒状の筐体50内に固着され、変位基板20はその周囲を支持手段30によって弾性支持される。変位基板20の下面には円柱状の重錘体40が固着され、重錘体40の周囲には円筒状の内側電極E21が形成される。内側電極E21の周囲には、円筒状の外側電極E22が固定手段45により固定される。変位基板20の上面に形成された変位電極E11と固定基板10の下面に形成された固定電極E12とにより第1の容量素子C1が形成され、その容量変化により縦揺れ加速度が検出される。内側電極E21と外側電極E22とにより第2の容量素子が形成され、その容量変化により横揺れ加速度が検出される。
請求項（抜粋）：
センサ筐体と、前記センサ筐体内に収容された変位基板と、前記変位基板の周囲を前記センサ筐体に対して弾力性をもって支持する支持手段と、前記変位基板の下面に固着され、検出対象となる加速度の作用により、前記支持手段に弾性変形を誘発させるのに十分な質量をもった重錘体と、前記重錘体の重心を通り前記変位基板の基準主面に対して垂直な中心軸を取り囲むように、前記重錘体の周囲側面に形成された内側電極と、前記内側電極を収容可能な筒状形状をなし、前記内側電極との間に所定間隔を維持しつつ前記内側電極を取り囲む位置において前記センサ筐体に固定された外側電極と、前記内側電極と前記外側電極とによって形成される容量素子の静電容量の変動分に基いて、前記基準主面に平行な方向に作用する加速度の大きさを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、前記重錘体が前記中心軸に沿って変位した場合にも、前記内側電極と前記外側電極との間の有効対向面積が一定となるように、前記内側電極の前記中心軸方向の幅と前記外側電極の前記中心軸方向の幅とについて、一方の幅が他方の幅よりも、少なくとも前記重錘体の前記中心軸に沿った変位量だけ広くなるように構成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01H 1/00
, G01H 11/06
G01P 15/125
, G01H 1/00 B
, G01H 11/06
