蒸着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079776
公開番号（公開出願番号）：特開平11-279746
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】蒸着源を保持するるつぼを試料の上方に配置しても蒸着ができるようにすること。【解決手段】外壁1内部に形成された真空室3内に配置されて、蒸着口13a,13aが形成された壁部材13によって形成される蒸着源室J1と、前記蒸着源室J1の外部で且つ前記蒸着口13a,13aの下方の位置に保持された試料Sと、前記蒸着源室J1内に配置されて、上方に開口し且つ加熱されたときに蒸発して前記試料S表面に蒸着する蒸着物質Aとなる蒸着源を保持するるつぼ22と、前記るつぼ22内の蒸着源を加熱蒸発させて、蒸着物質Aにする蒸着源加熱装置(14+18+21)と、前記るつぼ22の上方に配置されて、前記蒸着物質Aを前記蒸着口13a,13aに向かわせる反射板23と、前記反射板23を加熱する反射板加熱装置(17+19+24)とから構成される蒸着装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とする蒸着装置、(A01)外壁内部に形成された空間であって、真空に保持される真空室内に配置されて、蒸着口が形成された壁部材によって形成される蒸着源室、(A02)前記蒸着源室の外部で且つ前記蒸着口の下方の位置に保持された試料、(A03)前記蒸着源室内に配置されて、上方に開口するるつぼ、(A04)加熱されたときに蒸発して前記試料表面に蒸着する蒸着物質となる蒸着源を保持する前記るつぼ、(A05)前記るつぼ内の蒸着源を加熱蒸発させて、蒸着物質にする蒸着源加熱装置、(A06)前記るつぼの上方に配置されて、前記るつぼから蒸発した蒸着物質を前記蒸着口に向かわせる反射板、(A07)前記反射板を加熱する反射板加熱装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

成膜装置及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-013193 出願人：三菱電機株式会社
蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-175012 出願人：日立造船株式会社

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