特許
J-GLOBAL ID：200903005922217014
プラズマディスプレイパネルの誘電体と隔壁の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278943
公開番号（公開出願番号）：特開2001-101970
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】光硬化性隔壁材を使用して露光・現像・焼成法によって隔壁を形成する方法において、できるだけ少ない露光回数において、隔壁の断面形状をできるだけ台形を含む種々の形状にすることが可能な方法を提供することである。【解決手段】露光を隔壁材の側からだけでなく、裏面から、すなわちガラス基板側からもパターン露光を行う方法を提供する。この場合、硬化した隔壁の断面形状が所望の形状となるように、フォトマスクの隔壁パターンは、表面用と裏面用で面対称でなく、異なるものにする。
請求項（抜粋）：
プラズマディスプレイパネルの背面板上に、隔壁を光硬化性隔壁材料を使用して形成する方法であって、ガラス基板の上の隔壁材料側(表側)とガラス基板側(裏側)の両方から電極部と整合する所定の位置にパターン露光するに際し、表側用のフォトマスクの隔壁パターンと裏側用フォトマスクの隔壁パターンが面対称でないこと、および表裏各面からの露光条件を調整することによって現像後の隔壁の形状を制御することを特徴とする、プラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GF19
, 5C040JA15
, 5C040KA09
, 5C040KA16
, 5C040KB14
, 5C040MA23
, 5C040MA26
