特許

J-GLOBAL ID：200903005939549169

ペリクルと、その収納ケース

発明者： 藤田 稔 ,  中川 広秋
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197158
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038598
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課 題】ペリクルに接触しないでペリクルをケース内に固定することができ、収納ケースとペリクルと接触することによって生ずる発塵を防止する。【解決手段】矩形枠6aに貼付されるライナー5に枠の四隅よりはみ出す耳片4を設け、底蓋上に装着されるペリクル6の四隅の耳片4を上蓋9の押え部11で押え付け、ペリクル6を上蓋9と非接触で固定する。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠と、ペリクル枠の一側端面に貼着されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に塗布される接着剤と、該接着剤に貼付され、ペリクル枠よりはみ出る耳片を突設したライナーよりなるペリクルにおいて、上記耳片を把持することのみによってペリクルを無接触で支持できるように耳片を構成することを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 J ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 503 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ペリクル容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-265809   出願人：株式会社ニコン
• ペリクルの収納構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-195534   出願人：旭化成電子株式会社