特許
J-GLOBAL ID：200903005940687281

X-Yステージ装置

発明者：
内海 和晴

内海 和晴 について

, 
小原 達也

小原 達也 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (2件)： 後藤 洋介 ,  池田 憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-018578
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317485
出願日： 2004年01月27日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】 静圧軸受けのような高価な部品をできるだけ減らしたうえで高い停止精度を得ることのできるX-Yステージ装置を提供する。【解決手段】 ベース100上に一軸方向に延びるように固定された2本のガイドレール110、120と、これらのガイドレールに前記一軸方向と直角な方向に延びるように組み合わされ、かつこれらのガイドレールに沿って前記一軸方向に走行可能にされたYスライダ130と、Yスライダに沿って前記一軸方向に直角な方向に走行可能にYスライダに組み合わされたXスライダ140とを備える。Yスライダは、2本のガイドレールにそれぞれころがり軸受け111、121を介して支持されてベース表面から離れて走行可能に構成されており、Xスライダは、Yスライダとの間にころがり軸受けが介在されて走行可能に構成されていると共に、ベース表面に対向する下面に複数の静圧軸受け141〜143が設けられていることによりベース表面から浮上した状態で走行可能にされている。また、ブレーキ機構190により停止精度を向上させている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面加工されたベースと、 該ベース上に一軸方向に延びるように固定されたガイド部材と、 該ガイド部材に前記一軸方向と直角な方向に延びるように組み合わされ、かつ該ガイド部材に沿って前記一軸方向に走行可能にされた第1のスライダと、 該第1のスライダに沿って前記一軸方向に直角な方向に走行可能に該第1のスライダに組み合わされた第2のスライダとを備え、 前記第1のスライダは、前記ガイド部材にころがり軸受けを介して支持されて前記ベース表面から離れて走行可能に構成されており、 前記第2のスライダは、前記第1のスライダとの間にころがり軸受けを介在させて走行可能に構成されていると共に、前記ベース表面に対向する下面に少なくとも1つの静圧軸受けが設けられていることにより前記ベース表面上をそこから浮上した状態で走行可能にされていることを特徴とするX-Yステージ装置。
IPC (6件)：
G12B5/00 ,  B23Q1/28 ,  B23Q1/38 ,  B23Q1/40 ,  B23Q1/62 ,  B23Q5/28
FI (9件)：
G12B5/00 T ,  B23Q1/28 ,  B23Q1/38 ,  B23Q1/40 ,  B23Q1/62 ,  B23Q5/28 B ,  B23Q1/18 A ,  B23Q1/26 D ,  B23Q1/26 E
Fターム (12件)：
2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB13 ,  2F078CC06 ,  3C048BB03 ,  3C048BC02 ,  3C048CC04 ,  3C048CC07 ,  3C048CC17 ,  3C048DD06 ,  3C048DD26 ,  3C048EE00
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • X-Yステージ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-332213   出願人：住友重機械工業株式会社
審査官引用 (1件)
  • 2軸移動装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-266349   出願人：日本精工株式会社

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