セラミック多層基板の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中前富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319862
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134913
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】セラミックグリーンシートの積層体の焼成過程において、焼成用空気の供給と排気を効率よく行い、脱バインダーを確実に行って、クローズドポアを減少できるセラミック多層基板の製造方法を提供する。【解決手段】実質的に矩形状の複数枚のセラミックグリーンシート11〜14にそれぞれ導体配線パターンを形成し、重ね合わせて積層体15を形成し、積層体15の両面にセラミックグリーンシート11〜14の焼結温度では焼結しない未焼結シート16、17を重ね合わせ、空気の流れ道26を有する押え治具1819に挟んで多段に積み上げてブロック体20を形成し、焼成用空気23をブロック体20の一方の側面側からブロック体20に供給し、ブロック体20の他方の側面側から排気しながら加熱及び加圧して、加圧した面の焼成収縮を抑制して焼成する。

請求項（抜粋）：

実質的に矩形状の複数枚のセラミックグリーンシートにそれぞれ導体配線パターンを形成し、該セラミックグリーンシートを重ね合わせて積層体を形成し、該積層体の両面に前記セラミックグリーンシートの焼結温度では焼結しない未焼結シートを重ね合わせ、更に、空気の流れ道を有する押え治具に挟んで多段に積み上げてブロック体を形成し、焼成用空気を供給させながら加熱及び加圧して加圧した面の焼成収縮を抑制して焼成するセラミック多層基板の製造方法において、前記焼成用空気を前記ブロック体の一方の側面側から該ブロック体に供給し、しかも、該ブロック体の他方の側面側から排気をすることを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。

IPC (2件)：

H05K 3/46 , C04B 35/64

FI (3件)：

H05K 3/46 H , C04B 35/64 A , C04B 35/64 G

Fターム (23件)：

5E346AA02 , 5E346AA42 , 5E346AA43 , 5E346CC18 , 5E346CC38 , 5E346CC39 , 5E346DD03 , 5E346DD13 , 5E346EE23 , 5E346EE24 , 5E346EE27 , 5E346EE29 , 5E346EE30 , 5E346FF45 , 5E346GG01 , 5E346GG04 , 5E346GG05 , 5E346GG06 , 5E346GG08 , 5E346GG09 , 5E346GG15 , 5E346GG24 , 5E346HH11

引用特許：

審査官引用 (5件)

セラミック基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-279057 出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
特開平4-273988
気流炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-343421 出願人：日本ファーネス工業株式会社

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