特許

J-GLOBAL ID：200903006020788015

圧力検出装置

発明者： 古賀 和彦 ,  馬場 広伸 ,  豊田 稲男
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-163882
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194060
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 圧力検出装置を取り付ける部位から侵入する高周波ノイズによるセンサ出力の変動を低減する。【解決手段】 圧力導入孔を有するセンシングボディのダイヤフラムをなす薄肉部に低融点ガラスを介してセンサチップ4を固定した構造の圧力検出装置において、センサチップ4を構成するシリコン基板41の電位を電源回路72の電源電圧に固定して、シリコン基板41と歪ゲージ42a〜42dとの間のPN接合が逆バイアスとなるようにした。

請求項（抜粋）：

圧力導入孔(2a)を有しその終端が薄肉部(2b)となっているセンシングボディ部(2)と、このセンシングボディ部(2)の外側にあって被検出体に取り付けられるハウジング部(1)とを有し、導電性部材で構成されたボディ部材(1、2)と、前記薄肉部(2b)の圧力導入側と反対側に絶縁体(5)を介して固定され、第1導電型の半導体基板(41)に第2導電型の歪ゲージ(42a〜42d)が形成されて構成されており、前記薄肉部(2b)の変位に応じた電気信号を出力するセンサチップ(4)と、前記半導体基板(41)と前記歪ゲージ(42a〜42d)との間のPN接合が逆バイアスとなるように、前記半導体基板(41)の電位を固定する電位固定手段(43e、44、45,46)とを備えたことを特徴とする圧力検出装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-038377   出願人：株式会社デンソー
• 特開平4-162779
  
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019189   出願人：山武ハネウエル株式会社
• 半導体複合センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-012299   出願人：株式会社日立製作所