特許

J-GLOBAL ID：200903084964458310

圧力検出装置

発明者： 長瀬 和義 ,  谷澤 幸彦 ,  馬場 広伸 ,  今井 正人
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-038377
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232595
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 センサ出力の直線性を良好にする。【解決手段】 センシングボディ2の受圧用ダイヤフラム2aの上に、(100)面を有するシリコン基板31とガラス台座32とからなる歪ゲージ板3を接合し、シリコン基板31に薄肉部311aを設けるとともに、貫通溝312aにより薄肉部311aをビーム構造にし、応力に対して正の方向に抵抗値が変化する第1の拡散ゲージ4a、4dと、応力に対して負の方向に抵抗値が変化する第2の拡散ゲージ4c、4dを<110>軸方向に形成した。

請求項（抜粋）：

受圧用ダイヤフラム(2a)の上に歪ゲージ板(3)を設けてなる圧力検出装置であって、前記歪ゲージ板は、(100)面を有するシリコン基板(31)を備えており、このシリコン基板は、前記受圧用ダイヤフラムが圧力を受けた時に変位して応力を発生する薄肉部(311a〜311c)を有し、この薄肉部に、前記応力に対して正の方向に抵抗値が変化する第1の拡散ゲージ(4a、4d)と、前記応力に対して負の方向に抵抗値が変化する第2の拡散ゲージ(4b、4c)が形成され、前記第1、第2の拡散ゲージの抵抗値に基づき前記圧力を検出するようにしたことを特徴とする圧力検出装置。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01L 9/04 101

FI (2件)：

H01L 29/84 A ,  G01L 9/04 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平4-267565
  
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-090056   出願人：株式会社リケン
• 半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-321634   出願人：日産自動車株式会社
• 特開平2-095264
  
• 特開平1-211986