特許
J-GLOBAL ID：200903006044637360
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-317326
公開番号（公開出願番号）：特開2005-086031
出願日： 2003年09月09日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】露光装置上でのミラーの面内並進シフト方向の微小変位及び回転軸倒れの補正、及びミラー自身の自重変形の補正、及び投影系反射ミラーの波面補正をすることを可能にし、ミラー位置精度及び面精度(光学波面収差)の悪化、すなわち結像性能の悪化を防ぐ。【解決手段】反射ミラー投影系の波面収差を計測する手段を露光装置内に設けると共に、反射ミラー位置計測手段と、ミラー駆動手段を設け、ミラー波面収差計測値とミラー位置計測情報を用いて補正テーブル演算手段により補正駆動量を算出し、ミラー位置及びミラー面形状(波面収差)の補正駆動を行うことで、ミラーの面内並進シフト方向の微小変位及び回転軸倒れ及び面形状の補正を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
原版と基板とを相対的に移動させることにより原版に描かれたパターンを基板に投影して露光する露光装置であって、
光源から発光される光を計測位置に導く光学部材と、
前記光学部材の位置及び/又は形状を変更する変更手段と、
前記光学部材により導光された光を受けて該光学部材の波面収差を計測する波面収差計測手段と、
前記光学部材の波面収差の計測結果から、前記光学部材の波面収差を補正するための補正量を算出し、該算出された補正量に基づいて前記変更手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 516A
, G03F7/20 521
, H01L21/30 531A
5F046BA05
, 5F046DA13
, 5F046DB04
, 5F046DB05
, 5F046GA11
, 5F046GA12
, 5F046GA14
, 5F046GB01
