加速度センサー及びその製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：萩野平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-190550
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045935
出願日： 1995年07月26日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】接合面の大なる作用機構を有し、小型で信頼性が高く、しかも低コストの加速度センサーとその製造方法を提供する。【解決手段】加速度センサー1は、ダイアフラム部2Dをシリコン単結晶板の(100)面に形成し、四角枠型の接合面2Aの四隅部分が中心方向へ拡張された拡張部2Bを形成する構成とし、また、四角形のシリコン単結晶板の(100)面に対して、少なくとも八角形状の開口部10Eを備えるマスク10で覆って異方性エッチングを施すことで、シリコン単結晶板の四隅部分に中心方向へ拡張された前記拡張部2Bを形成させて製造する。

請求項（抜粋）：

四角形状のシリコン単結晶板により形成された作用機構を有し、該作用機構は中央部分に薄肉のダイアフラム部を備え、かつ該作用機構の縁部が四角枠型の接合面を形成し、さらに前記ダイアフラム部の中央に錘部を備え、かつ前記ダイアフラム部内に一体に抵抗素子を設け、あるいは前記ダイアフラム部表面に抵抗素子を接合して設け、加速度や力が加わった際の前記ダイアフラム部の伸縮変位による前記抵抗素子の抵抗値変化に基づき、加速度や力を検出する構造を有する加速度センサーにおいて、前記ダイアフラム部は前記シリコン単結晶板の(100)面に形成され、前記四角枠型の接合面の四隅部分が中心方向へ拡張された拡張部を形成する構成としたことを特徴とする加速度センサー。

IPC (3件)：

H01L 29/84 , G01L 1/18 , G01P 15/12

FI (3件)：

H01L 29/84 B , G01L 1/18 , G01P 15/12

引用特許：

審査官引用 (7件)

圧力センサとそれを用いた複合センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-191873 出願人：株式会社日立製作所
特開平1-255279
特開平1-261872

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