特許
J-GLOBAL ID:200903006207117718

全方位屈曲型の形状記憶合金薄膜アクチュエータ単位体とその製造方法および光ファイバー

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-048270
公開番号(公開出願番号):特開2001-234846
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 形状記憶合金アクチュエータにおいて、機械的な信頼性を向上し、従来の形状記憶合金のコイルによる全方位屈曲型アクチュエータに比べて小型、安価に大量にかつ短時間に作製することができる形状記憶合金薄膜アクチュエータ単位体を提供する。【解決手段】 中実細線あるいは中空細管の外周に形状記憶合金薄膜を蒸着して細線あるいは細管と一体化させた後、複数個に分割した個々の駆動要素を形成することによって形状記憶合金薄膜アクチュエータ単位体を作製し、アクチュエータ単位体の全方位の屈曲を可能とする。
請求項(抜粋):
中実細線または中空細管の外周に、複数個に分割され、且つ一体化して成膜された形状記憶合金薄膜を備えると共に、分割された形状記憶合金薄膜に配線が施された複数の駆動要素を具備し、個々の駆動要素により軸中心に対し全方位の屈曲が可能とされていることを特徴とする全方位屈曲型の形状記憶合金薄膜アクチュエータ単位体。
IPC (4件):
F03G 7/06 ,  B81B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 6/44 301
FI (4件):
F03G 7/06 E ,  B81B 3/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 6/44 301 A
Fターム (3件):
2H050BA04 ,  2H050BB26W ,  2H050BD06
引用特許:
審査官引用 (2件)

前のページに戻る