特許
J-GLOBAL ID：200903006216025257
仮想接面測定用の干渉計装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-087450
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274317
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】ピンチャック盤の各支持ピン先端面等の小被検面からの反射光が光検出面に到達することは許容し他の部分からの反射光が到達することは抑制する不要光除去手段を設けて、小被検面に全体的に接する仮想接面の形状に対応した干渉縞情報を得ることにより、小被検面の高さ方向に対する全体的な位置分布を測定できるようにする。【解決手段】不要光除去手段としての遮光マスク19が基準板21の裏面21bに設置される。光検出面27は複数の検出単位領域に分割されており、それらの各々に、各支持ピン53の先端面55の像が形成されるようになっている。検出単位領域ごとに平均化されて検出された各光強度に基づき、各先端面55に接する仮想接面の各部分の位相をそれぞれ求め、これら各位相に基づき仮想接面の全体的な形状に対応した干渉縞情報を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基準仮想面上に所定の配置パターンで位置するように形成された小被検面を有する被検体、および干渉計の基準面に測定光を照射し、前記小被検面からの反射光と前記基準面からの反射光とを合波して干渉光を得る干渉光学系と、前記干渉光の光強度分布を検出する光検出面とを備えた干渉計装置であって、
前記干渉光学系の光路中において、前記小被検面からの反射光が前記光検出面に到達することは許容し他の部分からの反射光が前記光検出面に到達することは抑制する、および/または前記小被検面からの反射光と合波される前記基準面からの反射光が前記光検出面に到達することは許容し前記他の部分からの反射光と合波される前記基準面からの反射光が前記光検出面に到達することは抑制する不要光除去手段と、
前記光検出面上に分割設定された複数の検出単位領域の各々に、前記小被検面の像の少なくとも一部分が形成されるようにする像形成調整手段と、
前記検出単位領域ごとに平均化されて検出された各光強度に基づき、前記小被検面に接する仮想接面の形状に対応した干渉縞情報を得る干渉縞情報取得手段とを備えていることを特徴とする仮想接面測定用の干渉計装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2F064AA09
, 2F064EE05
, 2F064GG22
, 2F064GG44
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F065AA51
, 2F065CC00
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL30
, 2F065LL46
