特許
J-GLOBAL ID：200903006259824382
排ガス配管内付着物の除去方法、及び単結晶引き上げ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119205
公開番号（公開出願番号）：特開2002-316889
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 排ガス配管内に堆積した酸化珪素を安全に、かつ簡便に吸引除去することができるチョクラルスキー法による単結晶引き上げ装置を提供する。【解決手段】 炉体に接続された排ガス配管11と、排ガス配管11に酸素を供給するためにこの排ガス配管11に接続された酸素供給管15とを備えており、単結晶引き上げ工程の終了後、排ガス配管内に酸素を強制的に供給して、前記排ガス管内に付着するSiOx形態の酸化珪素をSiO2の状態まで酸化燃焼させた後、排ガス管内の付着物を吸引除去する。
請求項（抜粋）：
単結晶引き上げ工程の終了後、炉体に接続された排ガス配管内に酸素を強制的に供給して前記排ガス配管内に付着する酸化珪素を酸化燃焼させた後、前記排ガス配管内の付着物を除去することを特徴とする排ガス配管内付着物の除去方法。
Fターム (6件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG21
, 4G077EG28
, 4G077PA16
