光学素子及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159199
公開番号（公開出願番号）：特開2007-328128
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】表面の微細凹凸形状の断面形状が矩形でない場合であっても、基材の軟化温度にかかわらず製作することのできるようにする。【解決手段】基板2の表面に断面形状が矩形の微細凹凸形状8が形成し、等方的な条件でエッチングを施して三角形の断面形状とする。その上に堆積を行い、かまぼこ型に盛り上がった凸条14として隣接する凸条14間を接触させる。その後、凸条14にスパッタリングを施すことにより断面形状を三角形に近づける。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板の表面に、誘電体にてなり、傾斜した側面をもつ凸条が互いに平行に、かつ使用波長域に含まれる光の波長以下のピッチで等間隔に配置されていることを特徴とする光透過型の光学素子。

IPC (2件)：

G02B 5/30 , G02F 1/133

FI (2件)：

G02B5/30 , G02F1/13363

Fターム (16件)：

2H049BA06 , 2H049BA07 , 2H049BA42 , 2H049BA45 , 2H049BB42 , 2H049BB65 , 2H049BC01 , 2H049BC08 , 2H049BC22 , 2H091FA08X , 2H091FA08Z , 2H091FA11X , 2H091FA37X , 2H091FC10 , 2H091FC26 , 2H091LA12

引用特許：

出願人引用 (2件)

波長板、光ピックアップ装置及び光ディスク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-048668 出願人：株式会社リコー
反射防止構造体
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-423258 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (6件)

特開昭62-269104
光ピックアップ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-068309 出願人：三洋電機株式会社
特開平2-012106

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