特許

J-GLOBAL ID：200903006288333231

完全に一体化した熱インクジェットプリントヘッド用のインク供給トレンチエッチング技術

発明者： ケネス・イー・トゥルーバ ,  チャールズ・シー・ハルザック ,  デイビッド・アール・トーマス ,  コルビー・ヴァン・ヴォーレン
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-071598
公開番号（公開出願番号）：特開2002-283580
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 プリントヘッドの解像度および印字速度を向上させる、新しいプリントヘッドの製造技術を提供する。【解決手段】 プリントヘッド基板20を設ける段階と、基板の第1の表面の上にポリシリコン層44を形成する段階と、基板の第1の表面上に複数の薄膜層46,48を形成する段階と、薄膜層の内のいくつかを貫いて、インク供給穴26を形成する段階と、薄膜層の上にオリフィス層28を形成する段階と、基板の第2の表面をマスキングして、トレンチエッチングを行う段階と、ウェットエッチング液を用いて基板の第2の表面をエッチングして、トレンチを形成する段階と、薄膜層のうちの、インク供給穴を通しておよびトレンチによって露出した部分をウェットエッチングして、トレンチの縁を、薄膜層を完全に貫いて形成されるインク供給穴に略自己整合させる段階とを含む、印字装置を形成する方法。

請求項（抜粋）：

プリントヘッド基板を設ける段階と、該基板の第1の表面の上にポリシリコン層を形成する段階であって、該ポリシリコン層は、トレンチの縁を前記基板内に次に形成されるように規定する、周辺部を有し、該周辺部は、後に形成されるインク供給穴の境界と整列する、段階と、前記基板の前記第1の表面上に複数の薄膜層を形成する段階であって、前記薄膜層のうちの少なくとも1つは複数のインク噴出要素を形成する段階と、前記薄膜層のうちの少なくともいくつかを貫いて、インク供給穴を形成する段階と、前記薄膜層の上にオリフィス層を形成する段階であって、該オリフィス層は複数のインク噴出チャンバを規定し、それぞれのチャンバは内部にインク噴出要素を有し、前記オリフィス層はさらに、それぞれのインク噴出チャンバについてノズルを規定する、段階と、前記基板の第2の表面をマスキングして、トレンチエッチングを行う段階と、ウェットエッチング液を用いて前記基板の前記第2の表面をエッチングして、トレンチを形成する段階であって、該エッチングする段階によってまた、前記ポリシリコン層がエッチングされ、前記トレンチは、前記ポリシリコン層の前記周辺部と整列する縁を少なくともいくつか有する、段階と、前記薄膜層のうちの、前記インク供給穴を通しておよび前記トレンチによって露出した部分をウェットエッチングして、前記トレンチの縁を、前記薄膜層を完全に貫いて形成される前記インク供給穴に略自己整合させる段階とを含む、印字装置を形成する方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/05

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 B

Fターム (8件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG46 ,  2C057AP13 ,  2C057AP31 ,  2C057AP33 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• スルーホールの作製方法、スルーホールを有するシリコン基板、該基板を用いたデバイス、インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-308619   出願人：キヤノン株式会社
• プリントヘッドおよび液体滴の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-311440   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• インクジェットプリントヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-069292   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー