特許
J-GLOBAL ID：200903006294144696

発光素子の取り付け方法

発明者：
小沢 正文

小沢 正文 について

, 
吉田 浩

吉田 浩 について

, 
小林 高志

小林 高志 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 大澤 斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-221070
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142765
出願日： 2002年07月30日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】 発光素子を取り付け部材上に取り付ける際、取り付け部材に対して高い位置精度で発光点を位置決めできるようにした発光素子の取り付け方法を提供する。【解決手段】 本方法では、トレー18から搬送コレット14を使って1個ずつ半導体レーザ素子Cを取り上げ、搬送して、位置合わせステージ12上に載置する。次に、半導体レーザ素子のリッジ部の位置及び方位をイメージセンサ16で観測して、位置合わせステージ上の基準線及び基準点に対する半導体レーザ素子のX方向及びY方向の位置ずれ、並びにX-Y平面内での方位(θ)のずれを測定する。測定したX方向及びY方向の位置ずれ、並びにX-Y平面内での回転方向(θ)のずれに基づいて、搬送コレットの駆動装置に制御信号を出力して、搬送コレットを駆動させ、位置合わせステージ上で半導体レーザ素子の位置を修正する。次いで、位置及び方位の修正が終わった半導体レーザ素子を搬送コレットで保持して所定方位に所定距離だけ移動させ、ヒートシンクHの取り付け面に搬送し、載置する。
請求項（抜粋）：
透明基板上に形成された発光素子を取り付け部材上に取り付ける方法であって、取り付け部材に対して所定の位置関係で配置された位置合わせステージ上に発光素子を載置するステップと、発光素子が半導体レーザ素子であるときには、リッジ部を素子基準線とし、発光素子が発光ダイオードであるときには、対の電極のいずれか一方の電極の縁部を素子基準線として、位置合わせステージの基準線に対する素子基準線の位置ずれ及び方位ずれを計測するステップと、計測した素子基準線の位置ずれ及び方位ずれに基づいて位置合わせステージ上で発光素子の位置及び方位を修正するステップと、取り付け部材と位置合わせステージとの位置関係に合わせて、位置及び方位を修正した発光素子を取り付け部材上に移動させ、取り付け部材上に位置決めするステップとを有することを特徴とする発光素子の取り付け方法。
IPC (4件)：
H01S 5/022 ,  H01L 21/52 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/323 610
FI (5件)：
H01S 5/022 ,  H01L 21/52 F ,  H01L 33/00 C ,  H01L 33/00 N ,  H01S 5/323 610
Fターム (15件)：
5F041AA38 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA46 ,  5F041DA01 ,  5F041DA19 ,  5F047FA08 ,  5F047FA17 ,  5F047FA18 ,  5F073EA29 ,  5F073FA11 ,  5F073FA23 ,  5F073FA30 ,  5F073HA10 ,  5F073HA11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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