特許

J-GLOBAL ID：200903006299609697

基板処理装置

発明者： 小山 勝彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-105249
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311821
出願日： 2003年04月09日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】キャリアとウエハボートとの間で、フォーク上にウエハを保持して搬送する基板搬送装置において、前記フォークの平行度を高めること。【解決手段】前記基板搬送装置をなすウエハ搬送機構4は、移動自在な搬送基体5に進退自在に構成された、複数のウエハWを保持するための複数段に配列されたフォーク41と、このフォーク41の基端側が固定される調整プレート71と、この調整プレート71の配列間隔を調整するための配列間隔調整機構6と、この配列間隔調整機構6に基端側が固定され、前記調整プレート71の基端側を保持するための保持部材72と、前記フォーク41に保持されたウエハを検出するために、前記調整プレート71に設けられたウエハセンサ82,83と、を備え、前記調整プレート71を保持部材72に傾きを調整した状態で第1及び第2のネジにて固定することにより、フォーク41の平行度を調整する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

複数の基板が棚状に収納された収納容器と、基板を多段に保持する基板保持具と、前記収納容器と基板保持具との間で基板を搬送する基板搬送装置と、を備えた基板処理装置において、 前記基板搬送装置は、移動自在な搬送基体と、 複数の基板を保持するために各々略水平に、上下に複数段に配列された板状の支持部材と、 前記搬送基体に進退自在に設けられ、前記支持部材の配列間隔を調整するための配列間隔調整機構と、 この配列間隔調整機構に基端側が固定され、前記支持部材の基端側を保持するための保持部材と、 前記支持部材の上下方向の傾きを調整した状態で、当該支持部材の基端側を前記保持部材に固定するための傾き調整機構と、 前記支持部材に保持された基板を検出するために、前記支持部材に設けられた基板センサと、を備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/68 D ,  H01L21/68 L

Fターム (23件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA25 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031HA61 ,  5F031JA05 ,  5F031JA23 ,  5F031JA36 ,  5F031LA09 ,  5F031LA13 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07 ,  5F031NA10 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 板状体搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-063206   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
• 基板移載機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-090091   出願人：国際電気株式会社
• 特開昭63-082248
  
• 特開平2-148752