特許

J-GLOBAL ID：200903006330979058

圧力センサ

発明者： 秋山 守人 ,  木下 政宏 ,  備後 英之 ,  中村 誠
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  オムロン株式会社
代理人 (2件)： 青山 葆 (外3名) ,  青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-397477
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195904
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】 構造が簡単で、耐久性に優れた超薄型の圧力センサを提供することにある。【解決手段】 対向する電極11,14間に、圧力によって誘電率を変化させる感圧膜13を積層一体化した。

請求項（抜粋）：

圧力によって誘電率を変化させる感圧膜を、対向する電極間に配置して積層一体化したことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  G01L 1/14

FI (2件)：

G01L 9/12 ,  G01L 1/14 J

Fターム (8件)：

2F055AA12 ,  2F055BB19 ,  2F055CC60 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF01 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-103638
  
• 特開昭61-175538
  
• エンジン用の筒内圧センサとこれを用いた気筒内空気流入量の計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-362477   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
• 圧力検知機構付きカテ-テル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-369944   出願人：株式会社東海理化電機製作所