液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれを含む製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森岡正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-217570
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061689
出願日： 2002年07月26日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】本発明は、絶縁膜を介して交差する2本のバスライン間に生じた層間短絡を修復する液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれを含む製造方法に関し、良好な表示品質の得られる液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれを含む製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】蓄積容量バスライン18とドレインバスライン14との間に生じた短絡欠陥を修復する液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、交差位置を挟む切断部62、64でドレインバスライン14を切断して交差位置をドレインバスライン14から分離し、ドレインバスライン14の切断両端部上に欠陥修復用コンタクトホール66、68を形成し、画素電極16上に欠陥修復用絶縁膜72を形成し、欠陥修復用コンタクトホール66、68を介して切断両端部間を接続する欠陥修復用導電膜70を欠陥修復用絶縁膜72上に形成する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第1のバスラインと、前記第1のバスラインに絶縁膜を介して交差して形成された第2のバスラインとの間に、前記第1及び第2のバスラインの交差位置で生じた短絡欠陥を修復する液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、前記交差位置を挟む2つの切断部で前記第2のバスラインを切断し、前記交差位置を前記第2のバスラインから電気的に分離する第1の工程と、前記2つの切断部を挟む前記第2のバスラインの切断両端部上に欠陥修復用コンタクトホールを形成する第2の工程と、画素電極と短絡させずに、前記欠陥修復用コンタクトホールを介して前記切断両端部間を電気的に接続する欠陥修復用導電膜を形成する第3の工程とを有することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。

IPC (4件)：

G02F1/1368 , G02F1/13 , H01L21/3205 , H01L29/786

FI (4件)：

G02F1/1368 , G02F1/13 101 , H01L29/78 612A , H01L21/88 Z

Fターム (67件)：

2H088FA06 , 2H088FA07 , 2H088FA10 , 2H088FA13 , 2H088FA14 , 2H088FA15 , 2H088FA17 , 2H088FA18 , 2H088FA24 , 2H088FA30 , 2H088HA08 , 2H088MA16 , 2H092JA26 , 2H092JA44 , 2H092JA46 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB32 , 2H092JB38 , 2H092JB51 , 2H092JB58 , 2H092JB63 , 2H092JB69 , 2H092JB72 , 2H092JB75 , 2H092JB77 , 2H092MA47 , 2H092MA52 , 2H092NA25 , 2H092NA29 , 2H092NA30 , 5F033GG04 , 5F033HH17 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033JJ17 , 5F033JJ19 , 5F033JJ20 , 5F033KK05 , 5F033KK08 , 5F033KK18 , 5F033LL04 , 5F033PP08 , 5F033PP10 , 5F033PP31 , 5F033QQ53 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS14 , 5F033UU01 , 5F033VV15 , 5F033XX36 , 5F110AA27 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110NN02 , 5F110NN12 , 5F110NN72 , 5F110NN73

引用特許：

審査官引用 (6件)

アクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-358574 出願人：シャープ株式会社
特開平2-254419
液晶表示素子の欠陥修正方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-312729 出願人：株式会社日立製作所

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