液晶表示装置及び液晶表示装置の欠陥修復方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-383829
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182246
出願日： 2000年12月18日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は、液晶表示装置及びその欠陥修復方法に係り、表示パネル内に断線欠陥が生じた場合、レーザCVDによる部分配線を組み合わせることにより、簡単に断線個所の修復が行えるようにする液晶表示装置の欠陥修復方法を提供することを目的とする。【解決手段】データバスライン101に断線部231があるとき、断線部231の両側のデータバスライン101上の保護膜にデータバスライン101の線幅よりも大きい穴径であってデータバスライン101の上面を開口するとともに両側部に基板面に到達する空間を形成して開口する断線修復用コンタクトホール233、235をそれぞれ形成する。断線修復用コンタクトホール233、235のそれぞれをレーザCVD膜で埋めるとともに、保護膜上で2つの断線修復用コンタクトホール233、235をレーザCVD膜231で接続する。

請求項（抜粋）：

液晶表示装置の欠陥修復方法であって、断線した配線の断線両端部上に、前記配線幅より長い幅を有し前記配線上面及び両側面が露出する深さの断線修復用コンタクトホールをそれぞれ形成し、前記配線上面及び両側面と電気的に接続される導電膜を前記断線修復用コンタクトホール内壁及び表面に形成して前記断線を修復することを特徴とする欠陥修復方法。

IPC (5件)：

G02F 1/1368 , G02F 1/1345 , G09F 9/00 352 , G09F 9/30 338 , H01L 29/786

FI (5件)：

G02F 1/1345 , G09F 9/00 352 , G09F 9/30 338 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 A

Fターム (68件)：

2H092GA51 , 2H092JA26 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA46 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB67 , 2H092JB69 , 2H092JB77 , 2H092KA05 , 2H092MA07 , 2H092MA09 , 2H092MA46 , 2H092MA55 , 2H092NA11 , 2H092NA16 , 2H092NA29 , 5C094AA04 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB02 , 5C094DB04 , 5C094DB08 , 5C094EA04 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F110AA27 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE42 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG45 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL07 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN16 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ12 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435AA19 , 5G435BB12 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (20件)

半導体装置の修正方法及びその構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-033408 出願人：セイコーエプソン株式会社
アクティブマトリックス液晶ディスプレイの行及び列線路の修理方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平11-531868 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
液晶表示基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-269517 出願人：株式会社日立製作所

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