UHF帯基本波水晶振動子及びフィルタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098315
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284484
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 UHF基本波振動子、或はフィルタにおいて、成膜上の制約及び信頼性確保の為、従来薄膜化に限界があるとされていた電極膜厚を超薄肉振動部の肉厚に対応して十分に薄くして、水晶素板と電極との界面に生じる熱歪みを低減し、良好な周波数温度特性を実現して、高性能、高信頼性の水晶振動子、及びフィルタを得る。【解決手段】 ATカット水晶素板1の一面又は両面の一部に凹陥部13を形成することによって該凹陥部の底部に超薄肉振動部13aを設け、該水晶素板の一方の面に全面電極12を、又他方の面に部分電極11(分割電極33、34)を形成することにより300MHz以上の基本波振動を得る水晶振動子において、少なくとも前記全面電極の膜材料として金を用いると共に、前記超薄肉振動部の厚みTと、超薄肉振動部における全面電極圧tとの関係が、少なくとも-35°C〜+80°Cにおける振動周波数偏差が±40ppm以下となる様に設定されている。

請求項（抜粋）：

ATカット水晶素板の一面又は両面の一部に凹陥部を形成することによって該凹陥部の底部に超薄肉振動部を設け、該水晶素板の一方の面に全面電極を、又他方の面に部分電極を形成することにより300MHz以上の基本波振動を得る水晶振動子において、少なくとも前記全面電極の膜材料として金を用いると共に、前記超薄肉振動部の厚みTと、超薄肉振動部における全面電極圧tとの関係が、少なくとも-35°C〜+80°Cにおける振動周波数偏差が±40ppm以下となる様に設定されていることを特徴とするUHF帯基本波水晶振動子。

IPC (2件)：

H03H 9/19 , H03H 9/56

FI (2件)：

H03H 9/19 D , H03H 9/56 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

超薄板圧電振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-188099 出願人：東洋通信機株式会社
厚みすべり水晶振動子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091101 出願人：株式会社明電舎
特開昭49-082292

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