特許
J-GLOBAL ID:200903006368928961

光学部品の角度調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-086633
公開番号(公開出願番号):特開平7-230026
出願日: 1994年04月25日
公開日(公表日): 1995年08月29日
要約:
【要約】【目的】対向する2個の光学部品の境界面を平行にするために、人為的にX軸及びY軸まわりの角度修正をすることなく、また、境界面を圧接させても、光学部品のホルダに弾性変形を与えることなく、X軸及びY軸まわりの角度ずれを修正できるようにした光学部品の角度調整装置を提供する。【構成】固定ホルダ3あるいは移動ステージであるXYZステージ4に取付けられる角度調整装置20であって、第1あるいは第2の光学部品1,2を保持してこれら第1及び第2の光学部品1,2がXY平面に垂直なZ方向に圧接されることにより、前記X軸65及びY軸62まわりに回転し、前記第1及び第2の光学部品の対向面の角度を調整する可動部材63,66と、この可動部材を移動可能に支持する固定部材61と、角度調整後に前記可動部材63,66が回転しないよう保持するクランプ装置66,67とを設けたものである。
請求項(抜粋):
固定ホルダに第1の光学部品を取付け、移動ステージにX軸及びこのX軸に直交するY軸からなるXY平面を介して前記第1の光学部品に対向する第2の光学部品を取付け、前記第1及び第2の光学部品の対向面の角度を調整する光学部品の角度調整装置において、前記固定ホルダあるいは移動ステージに取付けられ、前記第1あるいは第2の光学部品を保持し、前記第1及び第2の光学部品が前記XY平面に垂直なZ方向に圧接されることにより、前記X軸及びY軸まわりに回転し、前記第1及び第2の光学部品の対向面の角度を調整する可動部材と、この可動部材を移動可能に支持する固定部材と、角度調整後に前記可動部材が回転しないよう保持する保持機構と、を具備することを特徴とする光学部品の角度調整装置。
IPC (3件):
G02B 6/42 ,  G02B 6/24 ,  G02B 7/00
引用特許:
審査官引用 (3件)

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