特許
J-GLOBAL ID：200903006503969479
水素ガスセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-017742
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215012
出願日： 2002年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】圧電振動体の表面上に水素ガス選択層を固定することにより、水素が存在する雰囲気中の水素ガス濃度を測定する水素ガスセンサにおいて、測定後に初期状態に戻ることが可能な構成とすることにより、再度使用しても、測定誤差が大きくなるおそれを軽減する。【解決手段】電極(6)を固定した圧電振動体(4)の表面に炭素層(2)を形成し、さらにその上にパラジウムと銀の合金とからなる水素ガス選択層(3)を形成する。このように構成された水素ガスセンサ(1)の前記圧電振動体(4)の共振周波数の変化量を検出することにより、それが置かれた雰囲気中の水素濃度を検出する。
請求項（抜粋）：
電極を固定した圧電振動体と、前記圧電振動体の表面に固定されるパラジウムと銀の合金からなる水素ガス選択層とから構成され、前記圧電振動体の共振周波数の変化量より、前記水素ガスセンサが置かれた雰囲気中の水素ガス濃度を判定することを特徴とする水素ガスセンサ。
引用特許：
前のページに戻る
