表面検査方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237208
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059821
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】ウェブの高精度欠陥検査を行う際の、検査時間短縮と検査精度の向上とを可能とした表面検査方法及び装置を提供すること。【解決手段】ウェブ2に検査光を照射して、該ウェブ2の表面及び内部に存在する欠陥で乱反射した光を光電素子により検出する表面検査方法である。ロール状に巻かれたウェブ2を巻き戻して間欠搬送させ、該ウェブ2の搬送が停止している際に、搬送方向とこれに直交する方向の両方にその張力を通常該ウェブが製造工程で搬送される際の値の少なくとも2倍以上作用させつつ、前記光電素子を移動させてウェブ2の表面を走査し、欠陥とその欠陥の位置とを検出する。

請求項（抜粋）：

ウェブに検査光を照射し、該ウェブの表面及び内部に存在する欠陥で乱反射した光を光電素子により検出する表面検査方法において、ロール状に巻かれたウェブを巻き戻して間欠搬送させ、該ウェブの搬送が停止している際に、搬送方向とこれに直交する方向の両方にその張力を通常該ウェブが製造工程で搬送される際の値の少なくとも2倍以上作用させつつ、前記光電素子を移動させてウェブの表面を走査し、欠陥とその欠陥の位置とを検出することを特徴とする表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/892 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/892 A , G01B 11/30 A

Fターム (34件)：

2F065AA03 , 2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065BB23 , 2F065CC02 , 2F065FF04 , 2F065FF44 , 2F065GG17 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ16 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2G051AA41 , 2G051AB02 , 2G051AC01 , 2G051AC15 , 2G051BA01 , 2G051BA20 , 2G051BC06 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CD06 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051DA15 , 2G051DA17 , 2G051EA14 , 2G051EC01 , 2G051FA10

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-282239
透光性シート状物中の欠陥を光学的に検出する方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-153772 出願人：三菱レイヨン株式会社
ウェブの欠陥検査装置及びウェブの欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-135595 出願人：藤森工業株式会社

全件表示

前のページに戻る