ポジ型感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231004
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040654
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ高感度のポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部と、一般式(2)で示される構造を骨格に有するフェノール化合物の、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物である感光材(B1)1〜50重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物である。一般式(1)一般式(2)

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部と、一般式(2)で示される構造を骨格に有するフェノール化合物の、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物である感光材(B1)1〜50重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/037 , C08F299/02 , C08G 69/26 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08L 77/00 , G03F 7/022 601 , G03F 7/075 521 , H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/037 , C08F299/02 , C08G 69/26 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08L 77/00 , G03F 7/022 601 , G03F 7/075 521 , H01L 21/30 502 R

Fターム (60件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE02 , 2H025CB24 , 2H025CB33 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 4J001DA01 , 4J001DB02 , 4J001DD02 , 4J001EB35 , 4J001EB36 , 4J001EB37 , 4J001EB56 , 4J001EB57 , 4J001EB58 , 4J001EB59 , 4J001EB60 , 4J001EC23 , 4J001EC27 , 4J001EC33 , 4J001EC36 , 4J001EC38 , 4J001EC44 , 4J001EC55 , 4J001EC56 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC68 , 4J001EC69 , 4J001EC70 , 4J001EE27C , 4J001FA01 , 4J001FB03 , 4J001FB06 , 4J001FC03 , 4J001FC06 , 4J001FD05 , 4J001JA20 , 4J002CL091 , 4J002EJ038 , 4J002EV246 , 4J002EV247 , 4J002GP03 , 4J027AD02 , 4J027CB09 , 4J027CC04 , 4J027CC05 , 4J027CC06 , 4J027CC08 , 4J027CD10

引用特許：

審査官引用 (3件)

ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-060800 出願人：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-236711 出願人：住友ベークライト株式会社
5核体ノボラック化合物およびその用途
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159711 出願人：住友化学工業株式会社

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