ポジ型感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236711
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143070
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ封止樹脂との密着性に優れており、波長が365nmの紫外線露光において高感度であるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物(B)1〜50重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物(C)1〜50重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(D)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物(B)1〜50重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物(C)1〜50重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(D)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (6件)：

G03F 7/037 , G03F 7/022 , G03F 7/027 514 , G03F 7/26 501 , H01L 21/027 , C09D177/06

FI (6件)：

G03F 7/037 , G03F 7/022 , G03F 7/027 514 , G03F 7/26 501 , C09D177/06 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (8件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-253147 出願人：住友ベークライト株式会社
耐高熱性ポジ型レジスト及び耐高熱性レリーフ構造物の製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-139694 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-288362 出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社

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