特許
J-GLOBAL ID：200903025279448780

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
真壁 裕明

真壁 裕明 について

, 
竹田 直滋

竹田 直滋 について

, 
番場 敏夫

番場 敏夫 について

, 
平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236711
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143070
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ封止樹脂との密着性に優れており、波長が365nmの紫外線露光において高感度であるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物(B)1〜50重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物(C)1〜50重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(D)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
請求項（抜粋）：
一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物(B)1〜50重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物(C)1〜50重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(D)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (6件)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/26 501 ,  H01L 21/027 ,  C09D177/06
FI (6件)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/26 501 ,  C09D177/06 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM