特許
J-GLOBAL ID：200903006637853108
有機化合物容器、有機蒸着源、及び真空蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218170
公開番号（公開出願番号）：特開平11-050233
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】【課題】大口径基板に均一な有機薄膜を形成できる技術を提供する。【解決手段】本発明は、容器本体11に設けた収容部12に有機薄膜材料を収納し、その蒸気を真空槽内に放出させる有機化合物容器10であり、収容部の底面13の面積よりも放出口14の面積の方が大きくなるようにされている。従って、発生した蒸気が収容部12内を上方に移動する際に、次第に広がってゆき、真空槽内に放出されると、側方に拡散する量が増える。真空槽内に蒸気が均一に拡散するので、大口径基板表面に均一な膜厚の有機薄膜を形成することができる。同じ容器本体に複数の収納部を設けると一層効果的である。
請求項（抜粋）：
容器本体と、前記容器本体に設けられた孔で構成された収容部とを有し、前記収容部に有機薄膜材料を収納して真空槽内に配置し、前記容器本体を加熱すると、前記収容部上端の放出口から前記真空槽内に向けて、前記有機薄膜材料の蒸気を放出できるように構成された有機化合物容器であって、前記収容部は底面の面積よりも放出口の面積の方が大きくされていることを特徴とする有機化合物容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/12
, C23C 14/24 A
