特許

J-GLOBAL ID：200903006643655849

ダイヤモンド様薄膜の評価方法、評価装置及び評価用プログラム

発明者： 鷹林 将 ,  高萩 隆行 ,  岡本 圭司 ,  中谷 達行
出願人/特許権者： 国立大学法人広島大学 ,  トーヨーエイテック株式会社
代理人 (11件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-229326
公開番号（公開出願番号）：特開2009-063322
出願日： 2007年09月04日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：

【課題】角度分解X線光電子分光法を用いて、ダイヤモンド様薄膜の表面及び内部における炭素の結合状態を評価するダイヤモンド様薄膜の評価方法を実現できるようにする。【解決手段】ダイヤモンド様薄膜の評価方法は、角度分解X線光電子分光法を用いて、3つ以上の検出角度においてダイヤモンド様薄膜の炭素1s軌道の結合エネルギーを示すX線光電子分光スペクトルを測定するステップ(a)と、測定したX線光電子分光スペクトルを4つ以上の成分に分解し、各成分についてドニアック-サンジック関数を用いて解析するステップ(b)とを備えている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

角度分解X線光電子分光法を用いて、X線光電子分光スペクトルを測定するステップ(a)と、 測定したX線光電子分光スペクトルを4つ以上の成分に分解し、各成分についてドニアック-サンジック関数を用いて解析するステップ(b)とを備えていることを特徴とするダイヤモンド様薄膜の評価方法。

IPC (1件)：

G01N 23/227

FI (1件)：

G01N23/227

Fターム (8件)：

2G001AA01 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001HA01 ,  2G001KA12 ,  2G001LA02 ,  2G001NA03

引用文献：

審査官引用 (2件)

• 「ダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のXPS解析」
• 「XPSスペクトルにおけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のアモルファス性の解析」