ガス濃度測定方法及びその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-144809
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338805
出願日： 1995年06月12日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】ガス信号を劣化させる信号が重畳されても、寿命によりレーザが劣化していても正確にガス濃度を測定できる方法及びその装置を提供すること。【構成】駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザ10を用い、所定の電流値を中心として駆動電流を変調することにより波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させ、そのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して得られるガス信号よりガス濃度を求めるガス濃度測定方法において、検出用ガスセル4にガス検出すべきガスを収容し、基準用ガスセル5に基準用のガスを収容し、これら両ガスセルを透過したレーザ光から得られる信号を差分して得られるガス信号からガス雰囲気圧力とガス濃度とを測定し、任意の圧力下でのガス濃度を測定することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザを用い、所定の電流値を中心として駆動電流を変調することにより波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させ、そのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して得られるガス信号よりガス濃度を求めるガス濃度測定方法において、検出用ガスセルにガス検出すべきガスを収容し、基準用ガスセルに基準用のガスを収容し、これら両ガスセルを透過したレーザ光から得られる信号を差分処理部で差分して得られるガス信号からガス雰囲気圧力とガス濃度とを測定し、任意の圧力下でのガス濃度を測定することを特徴とするガス濃度測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/39 , G01N 21/35

FI (2件)：

G01N 21/39 , G01N 21/35 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

ガス濃度測定方法およびその測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-052648 出願人：東京電力株式会社, 日立電線株式会社
特開昭63-009842
特開昭63-009842

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