特許
J-GLOBAL ID:200903006809848225

窒化珪素質焼結体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-103705
公開番号(公開出願番号):特開平8-295569
出願日: 1995年04月27日
公開日(公表日): 1996年11月12日
要約:
【要約】【目的】高強度化を促進でき、機械研削が困難であった部分の焼肌面の除去を容易に行うことができる窒化珪素質焼結体およびその製造方法を提供する。【構成】周期律表第3a族元素を含有する窒化珪素質焼結体であって、焼肌面を有する表層部を除去した面を有し、該除去面の表面粗さRmaxが10μm以下であり、研削条痕が実質的に存在しない窒化珪素質焼結体であり、このような焼結体は、焼結体の焼肌面に結晶粒径が1mm以下のセラミックス粒子を吹き付け、焼肌面を有する表層部を除去することにより得られる。焼肌面を有する表層部を除去した後に、800〜1600°Cにおいて熱処理を行うことが望ましい。
請求項(抜粋):
周期律表第3a族元素を含有する窒化珪素質焼結体であって、焼肌面を有する表層部を除去した面を有し、該除去面の表面粗さRmaxが10μm以下であり、かつ研削条痕が実質的に存在しないことを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (3件):
C04B 35/584 ,  C04B 41/80 ,  B23B 27/14
FI (4件):
C04B 35/58 102 C ,  C04B 41/80 A ,  B23B 27/14 B ,  C04B 35/58 102 X
引用特許:
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る