特許
J-GLOBAL ID：200903006815161045

表面検査装置及び表面検査方法

発明者：
内田 浩二

内田 浩二 について


出願人/特許権者：
エヌオーケー株式会社

エヌオーケー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243158
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066128
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】表面が曲面をなすワークの表面における照度ムラ等の影響を受けることなく、確実にかつ高精度に、表面上の欠陥等を検出できる表面検査装置及び方法を提供する。【解決手段】表面が曲面をなすO-リングWの表面に対して照明光を照射するリング照明30と、O-リングWの表面を撮像するCCDカメラ40と、CCDカメラ40により得られた画像データを処理してO-リングWの表面に関する欠陥情報を出力するコンピュタ50とを備え、このコンピュータ50に設けられた欠陥検出手段51により、O-リングWの表面における照度分布を平滑化した平均照度分布を求め、この平均照度分布と実際の照度分布との差から得られる照度差を監視し、所定レベルを越える照度差に基づいて欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
被検査体の表面に対して照明光を照射する照明手段と、前記被検査体の表面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により得られた画像データを処理して前記被検査体の表面に関する情報を出力する画像処理手段とを備えた表面検査装置であって、前記画像処理手段は、前記被検査体の表面における照度分布を平滑化した平均照度分布と実際の照度分布との差から得られる照度差に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段を有する、ことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/88
FI (2件)：
G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 J
Fターム (37件)：
2F065AA03 ,  2F065AA17 ,  2F065AA22 ,  2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065BB07 ,  2F065BB08 ,  2F065BB26 ,  2F065CC00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG17 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065PP02 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ42 ,  2F065TT03 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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