特許
J-GLOBAL ID：200903006853319094
ウエハー搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235528
公開番号（公開出願番号）：特開平11-071025
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 薄型化あるいは大口径ウエハーの搬送時に、ウエハーそのものに反りが生じても、ウエハーの搬送操作に不具合を起こさせない搬送装置を提供する。【解決手段】 半導体ウエハー5を搬送するためのウエハー搬送装置30であって、前記半導体ウエハー5を載置する1対の支持バー2、2’と、前記1対の支持バー2、2’の各々の1端を支持するための支持部材3からなるウエハー搬送装置30。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハーを搬送するためのウエハー搬送装置であって、 前記半導体ウエハーを載置する1対の支持バーと、前記1対の支持バーの各々の1端を支持するための支持部材からなることを特徴とするウエハー搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 E
, H01L 21/68 A
