光学顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028956
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325281
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、微分干渉観察の際のポラライザおよびアナライザを始め、ノマルスキープリズムの光路に対する挿脱とリターディション調整を簡単に行うことができる微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡を提供する。【解決手段】微分干渉観察光学系を構成するポラライザ3およびアナライザ8を、制御部15より同時に制御指令が与えられるアクチュエータ11、12により光路に対して挿脱し、さらにノマルスキープリズム5についても、同時にアクチュエータ17により光路に対して挿脱するとともに、電動モータ16を回転させることで、ノマルスキープリズム5を光軸と直角方向に微小移動させるリターディション調整を行う。

請求項（抜粋）：

微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡において、微分干渉観察光学系を構成するポラライザおよびアナライザを前記光学系の光路に対して挿脱する第1の駆動手段と、前記微分干渉観察光学系を構成するノマルスキープリズムを前記光学系の光路に対して挿脱するとともに、前記光路の光軸に直角方向に微小移動させるリターディション調整を行う第2の駆動手段と、これら第1および第2の駆動手段を同時に駆動制御する制御手段とを具備したことを特徴とする光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/24 , G01N 21/21 , G02B 21/00

FI (3件)：

G02B 21/24 , G01N 21/21 Z , G02B 21/00

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-133115
位相差測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-039586 出願人：株式会社東芝
表面形状の光学的測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-332776 出願人：株式会社小坂研究所

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審査官引用 (5件)

特開昭63-133115
位相差測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-039586 出願人：株式会社東芝
表面形状の光学的測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-332776 出願人：株式会社小坂研究所

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